等离子刻蚀机的–刻蚀率(Etch Rate)。等离子刻蚀的影响因素
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发布时间：2022-05-29 21:53
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时间：2024-10-22 18:34
–气压（Pressure）。
–温度（Temperature）提高温度会提高刻蚀率。
–Micro-loading
–刻蚀后腐蚀（Post-etch corrosion）。
–残留物（resial）。
