什么是mems加工技术?有大神能解释一下吗?
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发布时间:2022-05-24 10:41
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热心网友
时间:2023-10-11 00:51
MEMS是微机械电子系统(Micro
Electro-Mechanical
System)的英文缩写,是指所包含的部件尺度在1µm~1mm、能够实现某种工程学方面或机电方面功能的人造装置。MEMS加工技术即为制作出结构尺度在1µm~1mm范围内的微型器件的机加工技术,它的范围包括硅微加工技术、LIGA技术和超精密机械加工技术等,是先进制造技术中技术要求最高的制造技术之一。