谁知道磁控溅射镀膜时通氩气和氧气的作用各是什么啊？还有就是对这方面比较懂的加我！QQ：930115629

发布网友发布时间：2022-05-10 10:57

共4个回答

热心网友时间：2023-10-07 06:31

具体的原理请查看“磁控溅射”的原理，大概的情况是这样的，氩气是磁控溅射能够产生辉光的工作气体，磁控溅射想工作必须得通入氩气的，而氧气是工艺气体，比如你想镀SiO2，那么你要使用Si靶，然后通入氩气，这时候溅射出来的是Si，而你同时通入氧气的话，那么所镀膜层就变为SIO2了，因为SI离子和氧离子反映，生产SiO2或者SiO了。

当然如果你使用Ti靶，同样的道理，你通入氩气是为了能够产生辉光，这样Ti离子能够溅射出来，所镀膜层为纯金属Ti，通入氩气的同时如果你再通入氮气，那么形成的膜层就是TiN。

Ar气为工作气体，气体反应气体（如O2气，N2气等）是工艺气体。

参考资料：www.vac-guide.com

热心网友时间：2023-10-07 06:31

氩气是惰性气体，经过阴极发射的电子轰击后电离出用于轰击出阴极靶材原子的离子。通入氧气，是用于和靶材原子或者分子进行反应。
磁控溅射仪种类比较，分为直流溅射和射频交流溅射还有反应溅射，你问的好像是反应溅射。

热心网友时间：2023-10-07 06:32

氩气的作用：被撞击后产生Ar离子，在负高压的作用下，撞击靶材，根据动量定理而激发出靶材的原子。
氧气的作用：增加透过率，氧气越多，透过率越大...追问氧气的作用没明白！透过率什么意思？能说说吗？

热心网友时间：2023-10-07 06:32

通入氧气就变成氧化物了,氧化物可以做成半透非导电镀膜产品.工艺接近光学镀膜