前级泵前级泵的选择

发布网友发布时间：2024-12-07 18:00

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热心网友时间：2024-12-07 21:59

前级泵在罗茨真空泵系统中的选择对于保证系统的稳定性和效率至关重要。罗茨真空泵由于其压缩比的*，往往需要与前级泵组成系统以降低排出压力，从而实现更高真空度。前级泵的抽速与罗茨泵的长期工作压力范围紧密相关。例如，在特定系统中，要求在1 mbar入口压力时有600升/秒的抽速，并希望系统长期稳定工作。在选择前级泵时，需要考虑压缩比、预抽时间、真空室大小、预抽要求及极限真空度需求。例如，对极限真空度要求较高时，可能需要选择双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵；而对极限真空度要求较低时，可选用单级油封机械泵、往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。

在实际应用中，前级泵的抽速应满足系统所需的抽气量，避免在高压下工作时选择过小的前级泵，导致性能下降。同时，考虑预抽时间的要求，如果正常工作时间远大于预抽时间，可以选择较小的前级泵以节约成本。对于真空室较大的系统，要求快速预抽，可能需要使用较大的前级泵。在某些情况下，为了提高设备效率，可能在正常工作后停掉大功率的预抽泵，转而使用较小功率的前级泵维持稳定运行，以节省能源。

在选择前级泵时，还需要考虑气体特性，如腐蚀性介质和可凝性气体的存在情况。含有腐蚀性气体时，应避免使用油封机械泵；对于含有大量可凝性蒸汽的气体，油封机械泵的密封液很快会乳化，不适合使用。在抽除微量可凝性蒸汽时，应选择带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。

此外，为了在低入口压力下获得高抽气速率，可以采用*或四级机组，将一台罗茨真空泵作为另一台的前级泵使用。此时，罗茨真空泵之间的抽速比通常在2至5之间。为了满足系统需求，前级泵在选择时还应遵循以下原则：确保前级泵能提供主泵所需的预真空条件；在主泵允许的最大排气压力下，前级泵能及时排走主泵排出的气体量；对于兼作预抽泵的前级泵，还需要满足预抽时间和预抽真空度的要求。