MEMS发展概述

发布网友发布时间：2024-10-19 20:02

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热心网友时间：2024-11-25 16:05

MEMS，即微电子机械系统，是一种前沿的研发领域，它的特点是尺寸极小，最大尺寸不超过1厘米，甚至只有几个微米，厚度极其微薄。主要采用硅作为材料，这种材料具有与铁相当的强度和硬度，密度接近铝，且具有良好的电气性能，热传导性能类似于钼和钨。其制造技术与集成电路（IC）相似，能够利用成熟的IC生产技术进行大规模、低成本生产，从而显著提升性价比，相较于传统机械制造，效率大大提高。

完整的MEMS由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口以及电源等组件构成，旨在集成信息获取、处理和执行功能，形成微型多功能系统，嵌入到大尺寸系统中，极大地增强系统的自动化、智能化和可靠性。

随着技术的飞速发展，MEMS正引领着系统和产品的小型化、智能化和集成化趋势，它预示着21世纪科技*的到来，将深远影响科技发展、国防安全和经济繁荣，成为关键技术。然而，制造商在追求功能强大与成本控制之间面临着挑战。为解决这一矛盾，微机电系统（MEMS）的应用变得尤为重要，它使得所有功能可以整合到单个芯片上，既降低了成本，又保持了性能，对消费电子产品具有深远影响。

手持设备制造商已经认识到MEMS的价值，包括批量生产、成本降低、小型化和轻量化的优势，开始向成功的MEMS公司寻求合作。这种技术在消费电子领域的应用，尤其是iPhone和Wii推动的运动传感器创新，使得MEMS在终端产品体验和产品差异化中扮演核心角色，尤其是在消费电子产品领域，其成本削减效应波及广泛，不仅限于高端设备。

扩展资料

MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。