真空泵的种类有哪些?

发布网友发布时间：2024-10-16 01:29

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热心网友时间：2024-10-16 23:33

1. 容积变化泵：如旋片泵和涡旋泵，利用改变泵体内空间容积来抽气，主要应用于低真空环境。
2. 动量传输泵：如分子泵和扩散泵，通过分子间碰撞和扩散原理来建立高真空环境，常见于实验室和半导体行业。
3. 吸附捕集泵：如低温泵、离子泵和吸气剂泵，依靠吸附材料特性吸走气体，适用于极高真空度场合，如航天和真空包装。
4. 干式泵：如涡旋泵、分子泵和离子泵，在工作过程中不使用液体介质，适合高清洁度环境，如半导体制造。
5. 非干式泵：如旋片泵和扩散泵，通过液体介质传递机械能，效率较高，适用于工业生产中的多种真空需求。
6. 低真空泵：如旋片泵、涡旋泵和罗茨泵，用于一般生产环境的初步抽真空。
7. 高真空泵：如分子泵、扩散泵和低温泵，适用于高真空密封的精密科学实验和工业设备。
8. 超高真空泵：如离子泵、钛升华泵和吸气剂泵，是科研和尖端技术领域必需的，如电子束蒸发和真空镀膜。
不同类型的真空泵有其独特的性能和应用，了解这些分类有助于选择和使用它们，满足不同领域对真空环境的严格要求。