Aston™ 质谱分析仪为半导体 Sub-fab 提供安全, 可持续性发展的监测控...
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发布时间：2024-10-18 03:36
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时间：2024-10-25 08:14
在日益关注环境影响的情况下, Sub-fab 成为提升效率与可持续性的重要部分. Aston™ 质谱分析仪提供实时监控与控制, 优化 Sub-fab 设备运行. 该设备具有先进等离子电离技术, 比其他残留气体分析仪性能优越 10 至 100 倍, 适合处理苛刻工艺气体及副产品. 为提升安全性, 可持续性与节约性, Sub-fab 管理正重新聚焦.
随着半导体制造对环境影响的重视, 现在更加注重使用实时监控和更智能地运行 Sub-fab 设备. 安全性, 可持续性与节约性成为 Sub-fab 管理的三大核心. 随着新工艺对危险材料与副产品的推动, Aston™ 质谱分析仪为分子级安全监测提供了可靠手段. 研究显示, 2017 至 2019 年间, 多起不良事件发生在 Sub-fab 排气处理路径. 例如, ALD 和 ALE 中的化学物质使用引发潜在危险, 需要监测与管理. 在闪存制造中, 高阶硅烷化学对主动泄漏检测提出挑战, 防止火灾与危险. 可持续性方面, 半导体行业面临的挑战在于材料部分的碳足迹增长. 绿色能源与水循环利用已对温室气体与水消耗产生影响, 但材料使用的减少与成本降低成为关键. Aston™ 质谱分析仪通过提供原位量化计量, 提高效率与可持续性, 降低生产成本. 此外, 提高安全设备部署的经济效益, 以及可持续性作为供应商选择标准的日益重要, 使 Sub-FAB 管理愈发注重成本效益与环境责任. 上海伯东日本 Atonarp 提供的解决方案将有助于改进 Sub-fab 应用的安全性, 可持续性与节约性.
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