关于日本半导体单片式清洗设备制造商的推荐
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发布时间:2024-10-01 15:58
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时间:2024-11-11 07:40
晶圆清洗设备分为单晶圆与槽式两种,其中日本在单晶圆清洗设备市场占有率高达70%,东京电子TEL和迪恩士SCREEN为行业龙头。目前,日本单片式清洗设备主要制造商为SCREEN,PHT和MTK。SCREEN规模较大,而MTK则主要通过代理商模式进入中国市场,如日本丰港株式会社及其中国子公司和合作制造商。PHT则通过在中国进行国产化进入市场。
MTK专攻Si、SiC晶圆以及GaN衬底的半导体清洗设备与臭氧水发生器制造与销售,产品广泛应用于东芝、索尼、NEC、富士通、瑞萨等硅晶圆及碳化硅制造商。在中国市场,MTK拥有广泛的应用业绩。
PHT专注于8寸单晶清洗设备,利用其Si晶圆清洗设备经验,擅长单片式清洗设备、超音波清洗设备与臭氧水发生器设备的制造组装与售后维修。在单片式清洗设备领域,PHT技术水平处于日本先进水平。其技术成果涉及陶瓷、玻璃材料的制造、分析与表面精细加工,特别是使用HF液体/气体进行蚀刻、精密清洗/干燥以及高纯度化学液体的处理。在半导体制造技术方面,PHT掌握了用于溅射成膜、精密清洗、精密干燥与镀(铜镀)的制造工艺技术、制造设备技术与生产线操作系统。此外,PHT还管理着电镀工艺团队,能够开发和交付用于天气环境模拟的CPU(LSI),该处理器具有世界上最快的处理速度。
MTK单片式清洗设备图片由丰港提供。