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真空镀膜机真空镀膜机操作程序

发布网友 发布时间:2024-09-26 09:01

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热心网友 时间:2024-10-01 02:36

真空镀膜机的操作流程如下:


首先,确保所有操作控制开关处于关闭状态。然后,打开总电源开关,设备开始供电。接下来,将低压阀拉开,打开充气阀,听到气流停止后,启动升钟罩阀,使钟罩升起。


安装固定钨螺旋加热子,将PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上,并将铝丝穿入加热子内。同时,清理钟罩内部,确保无杂质污物。接着,落下钟罩。


启动抽真空机械泵,随后打开复合真空计电源(型号:Fzh-1A)。操作低真空表和左旋钮,按照指示进行加热和测量。当低真空表指针达到6.7Pa时,低压阀推入,旋钮指向测量位置。


开启冷却水,启动扩散泵,加热40分钟后,重复上述步骤。当真空达到一定标准,继续调整旋钮,控制电压,确保电极熔化并蒸发。当工作完成后,依次关闭规管灯丝、高压阀、蒸发开关,机械泵调至扩散泵位置。


如果需要再次蒸镀,只需更换电极分配孔并重复上述操作。最后,关闭所有阀门,充气后升起钟罩,取出工件并清理内部。在正常生产中,遇到停电时,要遵循特定的重启步骤,确保设备安全。


扩展资料

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

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