电子探针X射线微区分析电子探针分析方法及应用
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发布时间:2024-09-30 02:40
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时间:2024-10-04 12:55
电子探针的定性分析技术,主要分为定点、线和面三种方式,通过精确操控电子束进行微区分析。
首先,定点分析是关键步骤。将电子束聚焦在目标微区,利用波谱仪或能谱仪进行操作。通过改变分光晶体和探测器的位置,能够获取到分析点的X射线谱线信息。对于能谱仪,几分钟内即可从荧光屏或计算机中获取到微区所有元素的谱线分布。
在镁合金中,如需鉴别析出相CaMgSi,Spectrum1 显示出富含Ca、Mg、Si的特性,这是通过定点分析实现的。
线分析则进一步细致入微。将谱仪锁定在特定元素的特征X射线信号上,电子束沿直线路径扫描,能够得到该元素沿直线的浓度分布图,进而揭示不同位置的元素组成变化。
最后,面分析是最直观的手段。电子束在样品表面进行光栅扫描,固定谱仪在目标元素的X射线信号,屏幕上会出现该元素的分布图像。这样,如Mg2Si在镁合金中的分布,通过Si的元素面分布图清晰可见,为分析提供了详尽的微观视图。
扩展资料电子探针X射线微区分析(EPMA)Electron Probe X-ray Microanalysis是用聚焦极细的电子束轰击固体的表面,并根据微区内所发射出X射线的波长( 或能量)和强度进行定性和定量分析的方法。
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