四探针电阻率/方阻测试仪产品名称

发布网友发布时间：2024-09-06 04:16

共1个回答

热心网友时间：2024-10-29 00:01

四探针电阻率/方阻测试仪是一款专为半导体材料如硅单晶、锗单晶和硅片电阻率测量设计的精密仪器。它主要由主机、测试架和四探针头构成，其创新之处在于配置了双数字表，一个用于测量电阻率，另一个以万分之几的精度实时监控电流变化，确保测量过程的精确性。主机还配备了0.05%精度的恒流源，确保电流稳定，特别在处理箔层材料时，恒流源开关能避免探针尖与材料接触火花，保护器件安全。

仪器的核心专利技术是"小游移四探针头"，其游移率在0.1~0.2%，提高了测量的重复性和准确性。若配合HQ-710E数据处理器，测量硅片时能自动进行厚度、直径和探针间距校正，自动计算和打印电阻率变化等数据，极大地简化了操作过程。

技术参数方面，测试仪的测量范围广泛，电阻率可达0.0001~19000Ω·cm，方块电阻在0.001~1900Ω·□之间。恒流源输出电流在0.001~100mA，精度达到±0.05%。直流数字电压表具有10μV的高灵敏度，基本误差控制在±0.004%读数 + 0.01%满度。供电为AC 220V±10% 50/60 Hz，功率为12W。仪器需在23±2℃的温度、湿度≤65%的环境中使用，无强电场或强光干扰。

设备的物理规格包括主机重量7.5kg，体积为365×380×160mm。这款测试仪凭借其精准的性能和易用性，为半导体材料的电阻率测量提供了强大工具。