平面度平面度测量

发布网友发布时间：2024-08-11 16:31

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热心网友时间：2024-08-23 20:35

平面度测量是评估实际表面与理想平面的理想状态偏离程度。通过比较两者，计算出线性距离，即为平面度误差值。测量方法包括：

1. 平晶干涉法：使用光学平晶作为理想平面，干涉条纹的弯曲度和间距变化反映了被测表面的平面度。例如，图a显示的直且等间距条纹表示表面接*直，但与平晶有微小偏差。图b的弯曲条纹和不等间距则表明表面为球形，而c的圆形条纹表示球面，计算出的平面度误差为0.45μm。d的椭圆形条纹则意味着桶形表面。这种方法适用于高光洁度小面积测量，精度高。

2. 打表测量法：通过标准平板与测微计测量，区分三点法和对角线法，测量最大变动量来确定平面度误差。

3. 液平面法：适用于大平面，利用液面作为基准，通过传感器测量。

4. 光束平面法和激光平面度测量仪：分别采用准直望远镜和激光技术，测量大型平面的平面度。

5. 数据采集仪与百分表：通过自动化读取和计算，提高测量精确度，且具备结果报警功能，便于异常检测。