微纳尺度制造工程目录
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发布时间：2024-08-07 08:30
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时间：2024-08-11 14:47
这部教程详细涵盖了微纳制造工程的各个方面，从基础理论到具体工艺，分为五大篇。
第1篇，综述与题材，包括：
第1章介绍了微电子制造的入门知识，通过实例解析了微电子工艺，概述了单项工艺和工艺技术，并概述了本课程的学习路径。
第2章深入探讨半导体衬底，包括相图、晶体结构、缺陷分析和几种单晶生长方法，以及晶圆片制备和未来发展趋势。
第2篇详细讲解了单项工艺，如第3章的热处理与离子注入，涉及扩散、离子注入和快速热处理的理论和实践。
第3篇聚焦于图形转移，包括光学光刻和非光学光刻技术，以及真空科学与等离子体的基础知识。
第4篇深入到薄膜制造，如物理淀积和化学气相淀积，以及外延生长技术。
第5篇是工艺集成概述，涵盖了器件隔离、接触、金属化以及CMOS技术等。
从基本原理到实际应用，每一篇都为理解和实践微纳制造提供了深入的指导，是制造工程师不可或缺的参考资料。
