气敏传感器半导体气体传感器

发布网友发布时间：2024-07-21 23:10

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热心网友时间：2024-08-07 11:24

气体敏感元件的核心是金属氧化物半导体，其工作原理是被测气体吸附后改变半导体的电学性质，如电导率。常见的模型包括原子价控制模型、表面电荷层模型和晶粒间界势垒模型。

半导体气敏元件的特性参数主要包括：

电阻值: 在常温洁净空气中，固有电阻值Ra通常在(103～105)Ω范围内，需要在无污染的环境中测定，因为不同地区气体成分差异可能导致电阻值变化。
灵敏度: 描述气敏元件对气体的敏感程度，可通过电阻比、气体分离度（如RC1与RC2的比较）和输出电压比灵敏度(KV)来衡量。
分辨率: 体现元件对特定气体的识别和干扰抑制能力，通过比较不同气体浓度下的电压输出来计算。
响应时间: 表示元件对气体的响应速度，从接触气体到达到稳定阻值的63%所需时间。
加热电阻和功率: 高温工作下，加热电阻RH（小于5Ω或大于20Ω）和加热功率PH（一般在0.5～2.0W）是保持元件正常工作的重要参数。

特别提到的是烧结型SnO2气敏元件，主要分为直热式和旁热式两种。直热式结构复杂，稳定性较差，而旁热式因其结构简单、稳定性好，应用更为广泛，由敏感体、加热器和金属防爆网罩构成。