什么是特种气体?

发布网友发布时间：2024-09-17 07:52

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热心网友时间：2024-09-29 05:31

特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种，广泛应用于电子半导体、化工、医疗、环保和高端装备制造等L域。全球电子特种气体市场分布电子特种气体种类多，应用领域广泛。电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5~6%，但由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，因此成为衡量半导体技术的核心产品。在制备特种气体供应环节所涉及的市场依然是国内外公司积极布局的方向。特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。

标准气体：
1. 常见的标准气体按用途包括：气体报警类标准气体、电力能源类标准气体、石油化工类标准气体、环保监测类标准气体、医疗卫生类标准气体、仪器仪表类标准气体等。
2. 标准气还可用于环境监测，有毒的有机物测量，汽车排放气测试，天然气BTU测量，液化石油气校正标准，超临界流体工艺等。标准气视气体组分数区分为二元，三元和多元标准气体；配气准度要求以配气允差和分析允差来表征；比较通用的有SE2MI配气允差标准，但各公司均有企业标准。组分的最低浓度为10级，组分数可多达20余种。配制方法可采用重量法，然后用色谱分析校核，也可按标准传递程序进行传递。
标准气体的分类：
石油化工标准气体
仪器仪表校准气
可燃气体报警标准气
环氧乙烷杀菌气
电力工业标准气
检漏示踪标准气
环境监测标准气体
电子标准气体
车辆尾气检测标准气
检验检疫标准气体
燃气具测试标准气体
VOC测定标准气体
低浓度活性组分标准气
医疗医用标准气体
激光标准气电光源标准气