光谱型椭偏仪

现在大多数的椭偏仪在很宽的波长范围内以多波长工作（通常有几百个波长，接近连续）。和单波长的椭偏仪相比，光谱型椭偏仪有下面的优点：可以提升多层探测能力，可以测试物质对不同波长光波的折射率等。椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度及...

椭偏仪是一种精密的光学测量仪器，能够非破坏性地同时测定薄膜的厚度和折射率。其原理基于偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时发生的偏振变换。通过精确测量反射光与入射光偏振态的变化，椭偏仪能够计算出薄膜的折射率，这一数值反映了光在材料中的传播速度，是材料光学性质的重要参数。在系科仪器（上海）有限公司，我们提供的椭偏仪具备高精度和高灵敏度，广泛应用于半导体、光学、生物及医学等领域，以满足客户对薄膜光学参数测量的精准需求。科仪器致力于为微纳薄膜领域提供精益级测量及控制仪器，包括各种光谱椭偏、激光椭偏、反射式光谱等，从性能参数、使用体验、价格、产品可靠性及工艺拓展性等多个维度综合考量，助客户提高研发和生产效率，以及带给客户更好的使用体验。

椭偏仪有多个领域运用，其中光谱型椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。常见领域有半导体、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科研、生物、医药…...

光谱椭偏仪的构造因其测量需求而有所不同，但核心目标是测量样品反射后光的偏振状态变化量ρ。一种常见配置是通过旋转起偏器和固定检偏器，起偏器用于设定初始偏振状态，检偏器则用来测定输出光束的偏振状态。另一种设计则是固定起偏器和检偏器，通过声光晶体等手段调制光的偏振状态，最终测量输出光束...

椭偏仪的光谱范围广泛，涵盖深紫外区的142纳米至红外区的33微米。选择哪种光谱范围，取决于被测材料的特性。例如，如果材料的掺杂浓度对其红外光学性质有重大影响，那么就需要选择能够测量红外波段的椭偏仪。测量薄膜厚度时，光需要穿透薄膜并到达基底以便被探测器捕捉，这就要求选择能穿透或部分穿透待测材料...

激光椭偏仪采用极窄带宽的激光器作为光源，在单波长下对纳米薄膜样品进行表面和界面的表征。激光椭偏仪作为常规的纳米薄膜测量工具,与 光谱椭偏仪相比，具有如下特点：1.对材料的光学常数的测量更精确：这是由激光的窄带单色性质决定的，激光带宽通常远小于1nm，因此能够更准确地获得激光波长下的材料的材料...

系统设置问题。椭偏仪是一种用于检测薄膜厚度的光学测量仪器，中光增益越高测试精度越高的原因是系统设置问题。不同的硬件配置用于光谱椭偏仪的测量，但每种配置必须产生已知偏振的光束。

椭偏仪测折射率和薄膜厚度：通常表示设介质层为入射角的度数和折射范围的厚度。椭圆偏振光在样品表面反射后，偏振状态会发生变化，利用这一特性可以测量固体上介质薄膜的厚度和折射率。它具有测量范围宽：厚度可从10-10~10-6m量级、精度高可达百分之几单原子层、非破坏性、应用范围广：金属、半导体、绝缘...

通常椭偏仪的入射角范围是45°到90°。这样在探测材料属性时可以提供最佳的灵敏度。每层介质的折射率可以用下面的复函数表示通常n称为折射率，k称为消光系数。这两个系数用来描述入射光如何与材料相互作用。它们被称为光学常数。实际上，尽管这个值是随着波长、温度等参数变化而变化的。当代测样品周围...

椭偏仪 全自动光谱椭偏仪 成像椭偏仪（成像椭圆偏振技术）激光单波长椭偏仪……

我只有一本关于椭偏原理的书，关于如何测量折射率，这要看生产厂家提没提供这项功能，你用的是谁家的机台？我说一种方法吧，如果是光谱式的话，需要测量折射率的那一膜层可以用柯西色散模式建模型，这样可以将每一波长对应的折射率以及K值求出来。所以我想问下你用的是哪一家的 ...