森可瑞带你了解:离子束加工的基本原理与主要特点

发布网友发布时间：2024-08-19 22:48

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热心网友时间：2024-08-31 19:08

离子束抛光机，这种超精密加工设备，你是否了解其工作原理与主要特点？成都森可瑞将为你揭晓。离子束加工的基本原理是，将惰性气体氩、氮等置于真空瓶中，通过高频电磁振荡或放电加热阴极电流使其电离成正离子，然后利用5千至10万伏高电压加速这些正离子，使其具备一定能量。通过电子透镜聚焦，形成高能量密度离子流，在计算机控制下轰击工件表面，逐层去除材料。

离子束加工与电子束加工原理相似，均在真空条件下进行，通过加速聚焦的离子束撞击工件表面。这种加工方法可以实现从100埃到10微米的精密加工，其加工装置主要包括质量流量计、离子源、真空系统、控制系统和电源等。

离子束加工具有以下主要特点：1）原子级逐层去除，加工精度高；2）非接触式加工，无应力和变形；3）加工速度快，能量使用率高达90%；4）加工过程可自动化；5）真空腔内加工，污染少，材料加工表面不氧化；6）需要专用设备和真空系统，价格较高。