原位椭偏仪

发布网友发布时间：2024-08-18 14:57

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热心网友时间：2024-08-23 11:56

Film Sense FS-8是一款高效且易于使用的多波长椭偏仪，它凭借其长寿命LED光源和非移动椭偏探测器，能在紧凑的仪器中提供稳定的薄膜测量。该仪器特别适用于测量0-1000nm厚度的透明薄膜，只需1秒即可得到精确数据，无论是单层还是多层膜，都能准确获取光学常数等特性。

FS-8的价格定位在单一波长椭偏仪和光谱椭偏仪的中等价位，其广泛适用于研究实验室、超净间、原位工艺腔体以及工业质量控制等多种环境。它在测量膜厚和折射率方面表现出色，具有标准配置下的高精度和准确性。

FS-8还具备In Situ在线测量功能，配备紧凑自动mapping样品台，能快速、准确地测量薄膜均匀性。此外，聚焦光束选件缩小了样品上光束尺寸，适合于小尺寸光斑检测和晶圆质量控制，如FS-XY150提供快速150mm晶圆测量，结构紧凑且精度高。