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压阻式传感器压阻式压力传感器的结构

发布网友 发布时间:2024-08-19 20:29

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热心网友 时间:2024-08-21 21:21

压阻式传感器的构造独特且精密,它将电阻条巧妙地集成在单晶硅膜片上,通过集成工艺制成硅压阻芯片。这个芯片被安置在坚固的外壳中,引出电极引线以进行信号传输(参见图1)。


与传统的粘贴式应变计不同,压阻式压力传感器是直接感知压力的固态传感器。其工作原理是,硅膜片的一面与被测压力相连,形成高压腔,另一面则与大气相通,形成低压腔。硅膜片通常设计为圆形,直径与厚度的比例在20到60之间,以确保结构的稳定性和敏感性(如图2所示,单位为毫米)。在圆形硅膜片上,会扩散4条P杂质电阻条,形成全桥结构,其中一半位于受压区域,另一半位于受拉区域,以实现对压力变化的精确测量。


除了圆形膜片,还有一些微型压力传感器采用方形硅膜片或者硅柱形敏感元件。在硅柱形元件中,电阻条同样沿特定晶面方向扩散制成,拉应力和压应力电阻条的组合构成全桥,以实现压力感应和信号转换(图2中展示了这两种设计)。


扩展资料

压阻式传感器piezoresistance type transducer是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后,电阻率发生变化,通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。

压阻式传感器压阻式压力传感器的结构

压阻式传感器的构造独特且精密,它将电阻条巧妙地集成在单晶硅膜片上,通过集成工艺制成硅压阻芯片。这个芯片被安置在坚固的外壳中,引出电极引线以进行信号传输(参见图1)。与传统的粘贴式应变计不同,压阻式压力传感器是直接感知压力的固态传感器。其工作原理是,硅膜片的一面与被测压力相连,形成高压腔...

压阻式传感器的结构

这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线(图1)。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。图1 中硅膜片的一面是与被测压力连通的高压...

求压阻式传感器原理以及原理图?

一般压阻式压力传感器是在硅膜片上做成四个等值的电阻的应变元件,构成惠斯登电桥。当受到压力作用时,一对桥臂的电阻变大,而另一对桥臂电阻变小,电桥失去平衡,输出一个与压力成正比的电压。由于硅压阻式压力传感器的灵敏系数叱金属应变的灵敏系数大50 100倍,故硅压阻式压力传感器的满量程输出可达几十...

进气歧管绝对压力传感器的结构与工作原理?

图2-18所示为压阻效应式进气歧管压力传感器的内部结构,主要由硅膜片、真空室、硅杯、底座、真空管接头和引线电极等组成。通过特殊加工,使4个电阻应变片处于特殊的位置,即在受到膜片拉应力的作用下,应变电阻R2、R4增加(即产生正向增量ΔR),应变电阻R1、R3减小(即产生负向增量-ΔR)。如图2-19...

力敏传感器电桥驱动方式

固态压阻式压力传感器的结构传感器硅膜片两边有两个压力腔。一个是和被测压力相连接的高压腔,另一个是低压腔,和大气相通。3、压电式传感器 压电式传感器是基于某些材料受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原理的传感器。它是一种典型的有源传感器,又称自发电式传感器。它具有体积小,重量轻,频率...

压电式压力传感器和压阻式压力传感器的区别~

压电式压力传感器基于压电效应的压力传感器。它的种类和型号繁多,按弹性敏感元件和受力机构的形式可分为膜片式和活塞式两类。膜片式主要由本体、膜片和压电元件组成。压阻式传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。参考资料来源:...

硅压阻式压力传感器的组成部分

硅压阻式压力传感器的另一种封装形式是将硅应变片用于玻璃粉直接烧结在金属膜片上,构成烧结型压力传感器。由于该传感器的结构特点,能够将弹性原件与被测介质直接接触,易于小型化,适于动态压力测量。该传感器量程从0~100kPa至0~80MPa,工作温度为-55℃~125℃,精度为0.5%~0.1%。固有频率从几千赫...

压阻式压力传感器的原理

在膜片上利用集成电路工艺方法扩散上四个阻值相等的P型电阻。用导线将其构成平衡电桥。膜片的四周用圆硅环(硅杯)固定,其下部是与被测系统相连的高压腔,上部一般可与大气相通。在被测压力P作用下,膜片产生应力和应变。膜片上各点的应力分布由式(2-20)和式(2-21)给出。当时,径向应力为零...

压阻式压力传感器和压电式压力传感器有什么区别,跪求PPT版本解释_百度知...

PPT版的解释木有,只能给你简单介绍下:压阻式传感器一般是通过测量压力敏原件(压敏金属,陶瓷,硅晶体等)受压力作用发生一定形变后,其阻值产生的相应变化来将压力信号转换成电信号,因此压阻式传感器一般要形成一个完整的闭合电路(一般是惠斯通电桥的形式),再根据欧姆定律,实时测出压力敏电阻元件的阻值...

压阻式传感器

压阻式压力传感器的结构  这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线(图1)。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。图1 中硅膜片的一...

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