压阻式传感器压阻式压力传感器的结构
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发布时间:2024-08-19 20:29
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时间:2024-08-21 21:21
压阻式传感器的构造独特且精密,它将电阻条巧妙地集成在单晶硅膜片上,通过集成工艺制成硅压阻芯片。这个芯片被安置在坚固的外壳中,引出电极引线以进行信号传输(参见图1)。
与传统的粘贴式应变计不同,压阻式压力传感器是直接感知压力的固态传感器。其工作原理是,硅膜片的一面与被测压力相连,形成高压腔,另一面则与大气相通,形成低压腔。硅膜片通常设计为圆形,直径与厚度的比例在20到60之间,以确保结构的稳定性和敏感性(如图2所示,单位为毫米)。在圆形硅膜片上,会扩散4条P杂质电阻条,形成全桥结构,其中一半位于受压区域,另一半位于受拉区域,以实现对压力变化的精确测量。
除了圆形膜片,还有一些微型压力传感器采用方形硅膜片或者硅柱形敏感元件。在硅柱形元件中,电阻条同样沿特定晶面方向扩散制成,拉应力和压应力电阻条的组合构成全桥,以实现压力感应和信号转换(图2中展示了这两种设计)。
扩展资料
压阻式传感器piezoresistance type transducer是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后,电阻率发生变化,通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。
压阻式传感器压阻式压力传感器的结构
压阻式传感器的构造独特且精密,它将电阻条巧妙地集成在单晶硅膜片上,通过集成工艺制成硅压阻芯片。这个芯片被安置在坚固的外壳中,引出电极引线以进行信号传输(参见图1)。与传统的粘贴式应变计不同,压阻式压力传感器是直接感知压力的固态传感器。其工作原理是,硅膜片的一面与被测压力相连,形成高压腔...
压阻式传感器的结构
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压阻式压力传感器的结构 这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线(图1)。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。图1 中硅膜片的一...