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【芯动能】国产光刻胶研发情况

发布网友 发布时间:2024-09-09 15:35

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热心网友 时间:2024-10-12 13:41


国家对于集成电路产业高度关注,光刻胶作为核心材料受到重点政策支持。光刻技术在芯片制造流程中起着至关重要的作用,然而,我国在光刻机制造技术上仍处于实验室研发阶段,依赖进口。光刻胶作为光刻工艺的关键配套材料,市场庞大且需求持续增长。全球芯片需求上升为光刻胶材料提供了弯道超车的机会,特别是EUV及KrF光刻胶的市场需求显著增加。



然而,光刻胶市场被国际供应商垄断。全球主要竞争格局由日本TOK、日本Shin-Etsu、日本JSR、日本Sumitomo、美国杜邦等企业组成。IC用光刻胶中,EUV及KrF光刻胶增长趋势显著,g/i线光刻胶的市场空间趋于饱和,市场需求结构正在发生调整。全球光刻胶市场规模预计在2025年达到24.66亿美元,其中中国市场的增长速度为国际市场的两倍。


自2016年起,国内光刻胶产业开始快速发展,专利数量大幅增加,表明国内光刻胶技术研究体系正在形成。然而,光刻胶研发面临着验证周期长、光刻机资源有限的挑战,主要依赖进口,国内光刻胶市场面临进口替代的机会。


光刻工艺中光源波长的降低对光刻胶感光灵敏度提出了更高要求。随着技术的不断发展,光源波长从汞灯到准分子激光器再到激光等离子体,波长逐渐减小,所使用的光刻技术从微米级发展到纳米级。光刻胶的配方也随着光源波长的变化而调整,包括紫外宽谱、g线、i线、KrF、ArF、EUV、电子束等主要品类。


在光源波长降低的背景下,光刻胶研发面临着一系列技术难题。g/i线光刻胶适用于传统制程,而DUV波长的缩短则推动了KrF光刻胶的化学放大技术发展。面对EUV、电子束和X射线等最新光刻技术,光刻胶配方需要做出相应调整。然而,国内光刻胶研发仍面临树脂材料国产供应不足的挑战。


国际竞争格局中,东京应化、信越化学、JSR等企业占据领先地位。东京应化在光刻胶领域产品线齐全,覆盖从g线到EUV光刻胶。信越化学在全球市场排名第二,尤其是在KrF光刻胶方面表现出色。JSR通过收购初创企业实现无机光刻胶创新,而Samsung则成功突破日本材料封锁,自研EUV光刻胶,缓解了对日本的依赖。


国内IC光刻胶市场主要由彤程新材、晶瑞电材、华懋科技、上海新阳、南大光电等企业构成。这些企业通过自主研发及收购光刻胶研发企业,尝试完成研发布局,其中彤程新材、晶瑞电材、华懋科技等企业已在不同光刻胶领域取得进展,如彤程新材正在客户验证248nm光刻胶,晶瑞电材的KrF光刻胶已完成中试等。


对于未来投资机会,国内光刻胶产业正迎来新的发展机遇。投资者应关注技术突破、研发进展及市场动态,特别是在EUV、X射线等先进光刻技术领域。同时,关注国内光刻胶企业与国际市场的合作与竞争,以及政策扶持与市场需求的双重推动,有望在光刻胶领域找到新的投资机会。

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