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晶圆倒片机

发布网友 发布时间:2024-09-08 19:15

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热心网友 时间:2024-10-06 06:25

把晶圆盒图吞进去再吐出来的设备是晶圆倒片机。晶圆盒放在loadport上后,按启动键后将晶圆盒打开,通过机械臂上的传感器对盒子内的晶圆进行扫片,根据扫描的内容机械臂将晶圆取出后。放入寻边器上进行定位的同时相机读取晶圆上的ID,在将晶圆放入晶圆BOX盒子里通过ID相机来读取晶圆上的内容,如果正面未读取到晶圆内容,旋转避让电机旋转至安全位置,不与晶圆干涉后,翻转气缸将ID相机翻转后来读取晶圆反面内容。
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