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什么是沟道效应,如何才能避免?
发布网友
发布时间:2024-09-07 08:00
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热心网友
时间:2024-09-29 01:01
注入离子沿某角度注入单晶时,注入离子在没有和晶格原子发生碰撞的情况下运动的很远!
避免:1、倾斜硅片,7度常用。2、注入前做不定型处理。3、屏蔽氧化层(无定型)
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