光谱共焦测厚原理

发布网友发布时间：2024-09-28 23:59

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热心网友时间：2024-10-01 01:15

光谱共焦测厚是一种用于测量材料厚度的非接触式光学测量技术。其原理基于反射光的干涉效应和光谱分析。当一束光照射到材料表面时，其中一部分光会被表面反射，而另一部分光会穿透材料并被材料底部反射。当这两束反射光再次合并时，它们会发生干涉现象，形成干涉图样。干涉图样的明暗程度取决于材料的厚度。为了进行测量，光谱共焦测厚会利用共焦技术，即光束聚焦于样品表面以获得高空间分辨率。这意味着通过精确控制光源的焦距和相位，可以实现对最小特定区域的测量。在测量过程中，光谱仪会记录干涉图样中的波长分布，并通过光谱分析，计算出材料的厚度。光谱共焦测厚具有高精度、高灵敏度和非接触的特点，适用于几乎所有类型的材料，包括金属、陶瓷、玻璃和聚合物等。它在材料科学、制造业和质量控制领域中得到了广泛应用。