电子探针分析基本介绍

发布网友发布时间：2024-09-29 00:29

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热心网友时间：2024-10-06 18:42

电子探针分析是一种先进的材料物理试验技术，它通过聚焦高速电子对样品表面进行扫描，激发并检测特定元素产生的特征X射线，实现微区成分的定性或定量分析，也被称为电子探针X射线显微分析。其基本原理是利用10至30千电子伏的高能电子束冲击试样表面，促使原子内层电子脱离，外层电子填补空缺并释放能量，产生特征X射线。这些X射线的波长或能量通过波长色散谱仪或能量色散谱仪测量，进而识别元素种类和浓度。

电子探针分析具有非破坏性，能够深入分析直径和深度至少1微米的区域，对原子序数大于4的元素具有很高的分析能力。然而，对于原子序数小于12的元素，其灵敏度相对较低。常规分析的检测灵敏度范围在万分之一到十万分之一，具体取决于元素种类，一般能达到10^-14至10^-16克的水平。电子探针分析可以实现点、线、面的元素分布研究，并能生成元素分布的图像。

对于原子序数高于10且浓度超过10%的元素，电子探针的定量分析具有高精度，相对误差通常在±2%以内，这使得这种方法在许多材料科学和地质学研究中具有广泛应用价值。