椭偏仪光谱范围
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发布时间：2024-09-28 03:26
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时间：2024-10-28 11:47
过去的椭偏仪主要以单一波长或少数几个独立波长进行工作，例如使用激光或通过电弧等强光源进行滤光，形成单色光源。然而，如今的技术进步使得大多数椭偏仪具备了多波长工作能力，通常能覆盖数百个波长，接近连续光谱。这种多波长椭偏仪相较于传统设备，具有显著优势，如增强对多层结构的探测能力，同时允许对不同波长光的折射率进行精确测量。
椭偏仪的光谱范围广泛，涵盖深紫外区的142纳米至红外区的33微米。选择哪种光谱范围，取决于被测材料的特性。例如，如果材料的掺杂浓度对其红外光学性质有重大影响，那么就需要选择能够测量红外波段的椭偏仪。测量薄膜厚度时，光需要穿透薄膜并到达基底以便被探测器捕捉，这就要求选择能穿透或部分穿透待测材料的光谱区间。对于较厚的薄膜，长波长的光能提供更佳的测量条件。
总之，椭偏仪的光谱范围选择是一个根据被测材料特性和测量需求进行定制的过程，以确保得到准确和全面的数据。
扩展资料
早期的研究主要集中于偏振光及偏振光与材料相互作用的物理学研究以及仪器的光学研究。计算机的发展使椭偏仪在更多的领域得到应用。硬件的自动化和软件的成熟大大提高了运算的速度，成熟的软件提供了解决问题的新方法，因此，椭偏仪现在已被广泛应用于研究、开发和制造过程中。
