半导体量测检测包括什么?
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发布时间:2024-09-28 13:55
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时间:2024-09-29 19:34
半导体量测检测领域涉及关键步骤的精确评估,旨在确保芯片制造过程中的质量和性能。这一过程包括三大方向,每项都各有侧重,旨在全面覆盖检测需求。
三大方向分别为:
一、Metrology(量测)
关注于量测膜厚、关键尺寸、层与层间套刻等,以及更广泛的参数,如Wafer基体厚度、弯曲翘曲、1D/2D应力、晶圆形貌、电阻测量等。量测技术利用光学方法,精确评估薄膜和关键结构的尺寸和状态。
二、Defect inspection(缺陷检测)
分为无图形缺陷检测、有图像缺陷检测和掩模版缺陷检测,采用颗粒检测、图案检测和掩模版检测等技术,确保芯片制造过程中无遗漏的缺陷。
三、Defect review(缺陷审核)
对检测到的缺陷进行复检,通过显微镜和扫描电镜等工具,确保缺陷识别的准确性,以提高检测过程的可靠性。
量测检测在半导*造中扮演着至关重要的角色,它不仅保障了产品的质量,还推动了技术的持续进步和发展。
半导体量测检测包括什么?
半导体量测检测领域涉及关键步骤的精确评估,旨在确保芯片制造过程中的质量和性能。这一过程包括三大方向,每项都各有侧重,旨在全面覆盖检测需求。三大方向分别为:一、Metrology(量测)关注于量测膜厚、关键尺寸、层与层间套刻等,以及更广泛的参数,如Wafer基体厚度、弯曲翘曲、1D/2D应力、晶圆形貌、电...
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