微米位移传感器概述

发布网友发布时间：2024-10-04 10:07

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热心网友时间：2024-10-04 13:11

位移，作为描述物体运动位置变化的物理量，其测量方法多种多样，涉及的范围广泛。对于小范围的位移，常见的检测技术有应变式、电感式、差动变压器式、涡流式和霍尔传感器。然而，对于精度要求更高的微米级乃至纳米级位移测量，光栅传感器因其数字化易实现、高精度、抗干扰性强、无读数误差、安装简便和可靠性高等特点，成为了机床加工和检测仪表等领域的重要选择。

微米级位移传感器，又称线性传感器，主要类型包括电感式、电容式、光电式、超声波式和霍尔式，以及专门针对纳米级的位移计。其中，电感式位移传感器如KD5100和SMT9700利用金属感应原理，通过感应面的交变磁场检测金属物体，通过振荡器输出幅度的衰减来实现无接触检测。光电式传感器如ZLDS-N-100则采用激光三角反射法，对被测物体材质不设限，主要受环境光强和表面平整度影响。例如，真尚有的公路测量激光位移传感器就针对特殊环境进行了配置。

更进一步的是纳米位移计，如NLS1X，它采用了光谱共焦原理，使用白光作为测量光源，通过分析光的波长变化来确定位移。电容式传感器，如ZNX，其基本构造包含发射器和接收器，通过金属走线形成电场，物体靠近时会改变电场，从而测量出位移变化。