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铝方通怎么测厚度

发布网友 发布时间:2024-10-03 20:33

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热心网友 时间:2024-11-05 10:57

1、首先,铝的介电常数是固定的,可以通过测试得到电阻率,然后李工公式直接计算处理。
2、其次,铝层的厚度如果在nm级别,可以用光学方法如椭偏仪,反射计等方法测试得到厚度。
3、最后,就是台阶仪了,但要自己刻一个台阶出来,否则不能测。

热心网友 时间:2024-11-05 11:00

1、首先,铝的介电常数是固定的,可以通过测试得到电阻率,然后李工公式直接计算处理。
2、其次,铝层的厚度如果在nm级别,可以用光学方法如椭偏仪,反射计等方法测试得到厚度。
3、最后,就是台阶仪了,但要自己刻一个台阶出来,否则不能测。
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