双面探针台双面探针台的结构
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发布时间:2024-10-03 00:59
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时间:2024-10-29 02:38
双面探针台的结构设计旨在满足多样化的测试需求,包括以下几个关键组件:
主体部分: 提供了4", 6", 和8"真空吸附卡盘,确保样品的稳定固定。滚珠螺杆驱动系统提供精确的卡盘动作,X、Y行程可达150mm,可根据需求定制。
精密推拉装盘装置和手动360度卡盘调整,增加了操作的灵活性和便利性。
显微镜系统包括高倍率选项,放大倍率范围从1X到500X,支持选择更高倍率物镜,如100X,总放大倍率可达1000X。
DC探针座拥有12mm的X、Y行程,8mm的Z行程,精度达到1um,并配备仰角调节装置和磁开关或真空吸附功能。
CCD相机用于图像采集,配备国际标准接口,支持清晰的图像记录。
其他配件如探针夹具、电缆线、探针头(1um探针)、真空泵、屏蔽箱、防振桌等,可根据测试需求进行选择。
针对于探针台的选型,用户需要考虑样品类型(如晶圆、LED等)、测试环境(如高温、真空等)、应用类别(射频、高压测试等)以及产品级别和操作方式。例如,针对晶圆测试,可能需要选择特定的探针头和高精度系统;而对于射频或大电流测试,可能需要选择高频或高功率探针座。