铝层厚度如何测量

发布网友发布时间：2022-05-23 19:17

共4个回答

热心网友时间：2023-11-13 03:16

铝层厚度可以用台阶仪来测量。台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，可以测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数。

测量过程

测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。

工作原理

当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。

通常使用2μm半径的金刚石针尖来测量这些小特征。一个精密的xy载物台联合扫描轴R和转台θ，在测针下移动样品，测针中的垂直位移被转换为与特征尺寸相对应的电信号。然后将这些电信号转换为数字格式，在其中它们可以显示在计算机屏幕上并进行操作以确定有关基材的各种分析信息。可以微调扫描长度和扫描速度，以增加或减少分析时间和分辨率。此外，测力可调以适应硬质或软质材料表面。

热心网友时间：2023-11-13 03:16

1.铝的介电常数是固定的.可以通过测试得到电阻率,然后李工公式直接计算处理.2.铝层的厚度如果在nm级别.可以用光学方法如椭偏仪,反射计等方法测试得到厚度.3.再就是台阶仪了.但要自己刻一个台阶出来,否则不能测.

热心网友时间：2023-11-13 03:17

对于铝膜的厚度，我们使用一种专门的铝膜测厚仪，该仪器好像是利用磁涡流原理。

热心网友时间：2023-11-13 03:17

[quote]原帖由
爱可
于
2009-4-7
16:52
发表
通过测表面电阻（范围）来换算成AL层厚度（范围）在范围内即合格
[/quote请问，详细的操作手法是怎样的