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硅片清洗后俩侧表面上下格栅处还有花篮印(白印)
发布网友
发布时间:2022-05-18 21:20
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热心网友
时间:2023-11-05 02:49
一般单晶发生的比较明显,其他公司都有的,这个想要解决就要找行业内比较精通的清洗工程师搞定的,你自己就别多想了,因为这不是简单的工艺参数,材质什么的问题,是个化学物理综合问题,我以前解决这个问题的时候做了好几个月DOE试验才解决的,所以还是挺难的,另外和鼓泡完全没有关系,现在的清洗工艺完全不需要鼓泡
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