蓝宝石衬底pss发黄
发布网友
发布时间:2022-04-26 22:00
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热心网友
时间:2023-11-08 04:25
蓝宝石衬底pss发黄是因为受到腐蚀。
pss也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜,用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形,利用ICP刻蚀技术刻蚀蓝宝石,并去掉掩膜,再在其上生长GaN材料,使GaN材料的纵向外延变为横向外延。
热心网友
时间:2023-11-08 04:25
蓝宝石衬底pss发黄是因为受到腐蚀。
pss也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜,用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形,利用ICP刻蚀技术刻蚀蓝宝石,并去掉掩膜,再在其上生长GaN材料,使GaN材料的纵向外延变为横向外延。