veeco,mocvd有什么方面的耗材

发布网友发布时间：2022-04-25 00:01

共2个回答

热心网友时间：2023-10-16 05:51

1、生产原材料类
蓝宝石衬底（图形衬底或平面衬底）、有机源（镓源、镁源、铝源等）、氨气、高纯氮、高纯氢
2、设备易损件
石墨盘（100多炉换，看工艺了）、加热系统备件（没问题的话能用年把）、尾气过滤器（常换） Veeco有些型号的设备带有小型气体纯化器，此类不能再生，也应该算耗材之一吧。
3、配套耗材
手套、无尘布、无水乙醇、尾气中和用的酸等

热心网友时间：2023-10-16 05:52

最多的是过滤器，更换频率与使用的过滤器材质和型号相关。
其次是反应室的备件，包含加热灯丝、钨钼支撑件、陶瓷BN备件

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