请教铌的刻蚀方法?

发布网友发布时间：2023-09-05 07:03

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热心网友时间：2024-03-11 00:04

一种钛酸锶钡和铌酸锌铋复合薄膜的加工方法，其特征是①在BST＋BZN复合薄膜样品表面制备光刻胶掩膜图形；②配制刻蚀溶液：A为*（HNO3）、氢氟酸（HF）、柠檬酸溶液（CA）的水溶液，B为盐酸（HCl）、氢氟酸（HF）的水溶液；③BST＋BZN复合薄膜样品在刻蚀液A、B中按一定顺序刻蚀，刻蚀时间由BST与BZN分别的厚度决定；④用丙酮／乙醇去除光刻胶掩膜，重新制备光刻胶掩膜；⑤BST＋BZN复合薄膜样品在刻蚀液A中进行小功率超声处理；⑥用丙酮／乙醇去除光刻胶掩膜，清洗样品，用氮气（N2）吹干。本发明刻蚀过的地方表面无残留物，刻蚀完全，图形转化精度高。追问谢谢您，我想请问您金属铌的刻蚀方法，不是复合材料。