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请教铌的刻蚀方法?

发布网友 发布时间:2023-09-05 07:03

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热心网友 时间:2024-03-11 00:04

一种钛酸锶钡和铌酸锌铋复合薄膜的加工方法,其特征是①在BST+BZN复合薄膜样品表面制备光刻胶掩膜图形;②配制刻蚀溶液:A为*(HNO3)、氢氟酸(HF)、柠檬酸溶液(CA)的水溶液,B为盐酸(HCl)、氢氟酸(HF)的水溶液;③BST+BZN复合薄膜样品在刻蚀液A、B中按一定顺序刻蚀,刻蚀时间由BST与BZN分别的厚度决定;④用丙酮/乙醇去除光刻胶掩膜,重新制备光刻胶掩膜;⑤BST+BZN复合薄膜样品在刻蚀液A中进行小功率超声处理;⑥用丙酮/乙醇去除光刻胶掩膜,清洗样品,用氮气(N2)吹干。本发明刻蚀过的地方表面无残留物,刻蚀完全,图形转化精度高。追问谢谢您,我想请问您金属铌的刻蚀方法,不是复合材料。

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