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异丙醇蒸气去除刻蚀原理

发布网友 发布时间:2023-08-07 13:53

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热心网友 时间:2023-09-14 08:50

利用化学反应过程去除待刻蚀区域的薄膜材料。先用流动的去离子水在晶圆外表面产生很薄的一层水膜,之后再通入大量的异丙醇气体把晶圆上的水层去掉,从而使硅片干燥。异丙醇蒸气去除刻蚀原理利用化学反应过程去除待刻蚀区域的薄膜材料。异丙醇(IPA),是一种有机化合物,化学式是C?H?O,是正丙醇的同分异构体,为无色透明液体。
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