磷烷化学式
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发布时间：2023-09-09 16:26
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时间：2024-12-12 11:43
化学式 : PH3。
在性质：无色，剧毒，易燃烧气体，带有令人生厌的大蒜味。
应用：用于多种化学反应中；半导体生产，N型半导体外延片掺杂；多晶硅掺杂；离子注入。
分子量：34.0
比重 (Air = 1)：1.184
比容：0.712m3/kg@21.1ºC, 101.325kPa
气味：大蒜味电子气家族中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大，是IC制造极为重要的原料。
烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源，同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。
PH3 ，易燃、易爆、剧毒，其毒性 数为：PEL/TLV 0.3ppm， STEL 1ppm，LC50 20ppm，IDLH 200ppm，属剧毒危害品。
PH3不能自燃,而能自发燃烧的是联膦,分子式是P2H4,P2H4的燃点在常温以下,在PH3制取过程中,都有一定量的P2H4同时生成,动物的尸体缺氧分解*的过程中,P的化合物被微生物分解还原成PH3和P2H4,而正是P2H4的自燃引发了PH3一起燃烧,使人们误认为是PH3的自燃,在除去了P2H4的PH3气体,混合于空气,人们发现它不自燃,而含有P2H4的PH3气体和空气接触,就可以自燃.PH3的燃点是比较低,但它的燃点比常温要高,所以纯净的PH3是不能自燃的。
