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磁流体密封在半导体中的应用

发布网友 发布时间:2022-04-24 15:34

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热心网友 时间:2023-10-19 16:19

在半导体生产工艺中从单晶生长到集成电路晶圆的生产设备基本都会用到真空密封,具体用到的有单晶生长炉、离子注入机、立式扩散炉、真空蒸镀、溅射以及各种CVD设备。他们主要是应用了磁流体密封在转轴传动密封中无摩擦、高真空、寿命长等优点。有些wafer的清洗烘干设备也会用到磁流体密封,这时该密封装置的主要作用是防尘。追问呵呵 朋友可以留下QQ我还有很多问题想咨询你列,现在来说 磁流体密封的应用还不是很普及,很多行业都还没用到 磁流体密封!~ 你提及的都是可以用到的

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