问答文章1 问答文章501 问答文章1001 问答文章1501 问答文章2001 问答文章2501 问答文章3001 问答文章3501 问答文章4001 问答文章4501 问答文章5001 问答文章5501 问答文章6001 问答文章6501 问答文章7001 问答文章7501 问答文章8001 问答文章8501 问答文章9001 问答文章9501

溅射靶材都有哪些部分组成的?

发布网友 发布时间:2023-07-22 07:42

我来回答

1个回答

热心网友 时间:2023-09-14 03:55

靶材由“靶坯”和“背板”焊接而成。
1.靶坯是高速离子束流轰击的目标材料,属于溅射靶材的核心部分,涉及高纯金属、晶粒取向*。在溅射镀膜过程中,靶坯被离子撞击后,其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜。
2.背板起到主要起到固定溅射靶材的作用,涉及焊接工艺。由于高纯度金属强度较低,而溅射靶材需要安装在专用的机台内完成溅射过程。机台内部为高电压、高真空环境,因此,超高纯金属的溅射靶坯需要与背板通过不同的焊接工艺进行接合,背板需要具备良好的导电、导热性能。
声明声明:本网页内容为用户发布,旨在传播知识,不代表本网认同其观点,若有侵权等问题请及时与本网联系,我们将在第一时间删除处理。E-MAIL:11247931@qq.com
如何批量导出全部微信好友微信号?快速导出微信联系人 交强险什么价格 命运冠位指定必练五星英灵是什么 命运冠位指定必练五星英灵推荐 自制豆沙馅能保存多久 红豆沙馅怎么保存 我高三,从现在到高考分数从350提到500多,有可能吗?我是文科生 高三350分还有5个月能提多少分 文科复读350多分可以提高多少 钱钟书-谈艺录-读本目录 送茶叶都有什么讲究呢? 中国文化送礼茶叶有什么讲究茶叶送礼有什么讲究和注意事项 20+岁抗初老护肤品好物,分享我的宝藏好物 春夏护肤指南,平价护肤品吐血大分享! 卡其绿可以配灰色吗 思维的形容词 如果在中行办单位协定存款要什么样的条件才可以? 唐河中等职业学校有哪些专业 沛县中等职业学校55专业组多少分 股票青海华鼎的代码是什么?青海华鼎开盘价是多少?600243青海华鼎股吧600243? 青海华鼎股票代码多少? 合肥市慢性疾病门诊报销政策 合肥市职工医保慢病报销 专升本 电发电厂电气部分 毕业论文 假如美国向中国出售AH-64阿帕奇武装直升机,中国空军需要多少架? 中国有没有阿帕奇武装直升机 中国配备有黑鹰和阿帕奇吗?? 中国有没有阿帕奇? 如何看待《等着我》“儿子留下绝交信23年不回家”案例 电视节目,今世缘,等着我,寻亲节收费吗 ?我快五十了。和儿子分离九年了... 50*33*34超白缸养10条小金鱼不要紧吧。 我有十条小金鱼需要多大的缸?、多少天喂一次?一次喂多少呢?会不会它们每次吃食不均匀啊?! 大随求咒这么厉害还需修行吗 ...比如大随求咒,等等,念了会不会有过失,会不会犯盗法罪。请 熬夜是不是会导致一点点失忆? 长时间熬夜得了神经衰弱然后引起的轻失忆症 该怎么去治疗 熬夜会对身体造成哪些伤害?通过哪些方法能够减少对身体的伤害? 睡眠不足会不会导致失忆 清水锅怎么自己配锅底 同样是火锅,为什么清水锅里的水,要比辣汤锅里的水下的快? 讨论:为什么日光灯正面看是不闪烁,用眼睛余光看时会觉得闪烁呢?! 白炽灯、日光灯(荧光灯)、节能灯,这三种灯的光源到底闪不闪呢? 我无意间发现,我家里有一盏灯在手机相机里看是闪烁的,但是平时用眼看不闪,这是怎么回事?其它灯正常 同样的家用带宽,为什么我用客户端(如PPS)看电影的流畅度比我在视频网站上在线看要好很多呢,高手指教。 数码相机现在出现“微单”相机,请问三星有没有这种相机呢?这种相机有什么特征? 微单相机 三星nx1000和nx mini那个比较好,求助。说详细点利弊分析,本人新手,不懂相机。 求2012年上市的性价比高的微单相机。外貌最好适合女生用一点。三星NX1000怎么样? 百家号如何关注活动小助手 三极管集电极和发射级两端电压是0。7? 瑜伽垫什么牌子好,瑜伽垫哪里有卖 2020年辛集市选调生招聘报名时间是什么时候? 辛集乔紫超去哪里工作了