我们为什么真空镀膜采用复合真空计进行真空度测量

发布网友发布时间：2023-07-22 01:48

共5个回答

热心网友时间：2023-09-11 08:55

真空规一般分为皮拉尼、热电离规、冷阴极、电容薄膜规等，他们各有各的测量范围，有些测量从大气压到-4Pa，有些测量高真空，但没有一种单一的真空规可以测量全量程的，所以后来真空技术就发展出复合规，将两种或三种类型的规管复合成一个规管，自动切换量程，这就可以满足镀膜工艺上需要测量较大量程范围的要求，同时减少了真空系统的破真空点，保证了整个系统的真空度。

热心网友时间：2023-09-11 08:56

一般来说，真空度分为粗真空，低真空，高真空，超高真空等。真空镀膜机的排气过程，就是从粗真空到高真空的过程，除非特殊要求，才会用到超高真空。
常用的真空计，一般都是复合式的，一组低真空（含测粗真空），一组高真空，这是根据规管的特性来定的。低真空一般都是电阻规，高真空要用到电离规。
所有要用到复合真空计。

热心网友时间：2023-09-11 08:56

因为现在用的真空计都不能完成从大气压到高真空的测量。比如电阻规只能测量低真空，到了高真空就失效了。而电离规只能工作在高真空，低真空下启动就可能烧毁灯丝。

热心网友时间：2023-09-11 08:57

因为好用啊。

热心网友时间：2023-09-11 08:57

记不清是五个罗茨泵还是六个罗茨泵了？真空探头有五个吧，PG1 .PG2.PG3.PG4.PG5!主要看5的状态如何！