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离子源中和器工作原理

发布网友 发布时间:2023-07-27 09:41

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热心网友 时间:2023-08-27 13:39

1、工作气体或反应气体由阳极底部进入放电区内参与放电,放电区内由磁铁产生如图所示的锥形磁场,在放电区的上部安装有补偿或中和阴极。
2、根据工作要求该型号离子源的工作气体为氩气,反应气体可以使用氮气、氧气或碳氢等多种气体。
3、放电区上部阴极灯丝加热后产生热电子,当离子源的阳极施以正电位+UA时,电子在电场作用下向阳极运动,由于磁场的存在,电子绕磁力线以螺旋轨道前进,与工作气体或反应气体的原子发生碰撞使其离化。
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