单晶硅和多晶硅的制备技术有哪些?
发布网友
发布时间:2022-05-01 12:36
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热心网友
时间:2023-10-12 13:55
多晶硅制备技术主要有:
西门子法:80%以上企业采用此方法;
硅烷法:能耗低、产率高,但硅烷易燃易爆,生产安全难控制;
流化床法:能耗低、产率高、成本低,安全性差、纯度低;
物理提存法:能耗低、投资少、产量大,国内未掌握核心技术。
热心网友
时间:2023-10-12 13:55
多晶硅制备技术主要有:
西门子法:80%以上企业采用此方法;
硅烷法:能耗低、产率高,但硅烷易燃易爆,生产安全难控制;
流化床法:能耗低、产率高、成本低,安全性差、纯度低;
物理提存法:能耗低、投资少、产量大,国内未掌握核心技术。