单晶硅为什么常用作半导体
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发布时间:2022-05-01 23:27
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热心网友
时间:2022-06-25 01:40
硅非为:非晶硅,多晶硅,单晶硅
单晶硅是有多晶硅提纯而来的,
多晶硅内有很多晶向的小单元,而单晶硅只有一种晶向。常用到的是<111>和<100>晶向。因为半导体是薄膜工艺,要在硅衬底上生长外延层,在外延层中做器件,用单晶硅做衬底,保证生长的外延层的方向和衬底一致,保证了结构的致密性,稳定性,在整个晶体中都是长程有序,而不是在单个的小单元内是长程有序