发布网友 发布时间:2022-04-30 04:26
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热心网友 时间:2023-04-24 09:35
球形键合,一般弧度高度是150μm,弧度长度要小于100倍的丝线直径;键合头尺寸不要超过焊盘尺寸的3/4,球尺寸一般是丝线直径的2到3倍,细间距约1.5倍。
楔形键合,焊盘尺寸必须支持厂的键合点和尾端,焊盘长轴必须在丝线的走线方向,焊盘间距因适合于固定的键合间距。
键合的失效情况介绍:
1、焊盘产生弹坑(Cratering)。这是一种超声键合中常见的一种缺陷,指焊盘金属化下面的半导体玻璃或者其他层的破坏。像一块草皮形状,更一般的是难以肉眼看得见。它会影响电性能。
原因有多种:过高的超声能导致Si晶格点阵的破坏积累、太高或者太低的键合压力(wedge) 、球太小导致坚硬的键合头接触了焊盘。1.3微米厚的焊盘发生破坏的可能性小,小于0.6微米厚的焊盘容易破坏。丝线和焊盘硬度匹配可达到最优的效果,在AI的超声键合中,丝线太硬容易导致弹坑的产生。
2、键合点开裂和翘起:键合点的后部过分地被削弱,而前部过于柔软会导致开裂。在弧度循环中丝线太柔软也是一个导致这种现象产生的原因。这种开裂常常发生在AI楔形键合第一点和球形键合的第二点。
3、键合点尾部不一致:丝线的通道不干净、丝线的进料角度不对、劈刀有部分堵塞、丝线夹太脏、不正确地丝线夹距或者夹力、丝线张力不对等。尾部太短会导致键合力加在过小的面积上,产生较大的变形;太长又会导致焊盘间的短路。
4、键合点剥离:当键合头将丝线部分拖断而不是截断的时候会发生这种情况。常常由于工艺参数选择不对或者是工具已经老化失效的原因。
5、引线框架腐蚀:镀层污染过多和较高的残余应力会导致这种腐蚀。例如42号合金或者铜上镀Ni就会发生中问题;在组装过程中,引脚弯曲会产生裂纹,并暴露在外部腐蚀条件下,同时应力腐蚀导致的裂纹也会萌生;在一定温度、湿度和偏压下,腐蚀就会因为污染、镀层中的孔隙等而发生。