发布网友 发布时间:2022-04-30 20:33
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热心网友 时间:2023-10-11 00:26
在激光出射出口,使用一个有小孔的挡板,并调节高度L1使其通过,然后选择一定距离之后在放置一个挡板L2,分别测量出器激光高度,差值L2-L1,与其两挡板间距离S相比,得到tan((L2-L1)/S),从而算出平面的倾斜度追问我是要测量平台的平面度。不是平台的整体倾斜度。追答利用光波干涉法,利用45度分束镜分别得到两束光(反射光I1和透射光),然后透射光经反射镜M1反射回来,经过分束镜在反射至反射镜M2,之后反射回来与I1平行。形成干涉在工作平台,根据干涉条纹的间距计算精确计算平面度!