如何实现精准、快速、自动化晶圆测试
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发布时间:2024-05-11 16:46
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时间:2024-05-12 00:13
在摩尔定律的驱动下,集成电路的微型化、高效化成为必然趋势。航天、汽车和5G等领域的快速发展,对集成电路的稳定性与性能提出了严苛的要求,这无疑挑战了晶圆测试的复杂性。在这个背景下,精密、快速和自动化的测试显得尤为重要,以确保产品在严苛环境中仍能保持稳定运行。
WAT测试,作为晶圆制造的关键环节,通过探针台与测试机的协同工作,对完成的晶圆上的testkey进行电性验证。每片晶圆的抽样测试(至少5点)不容有失,任何参数不符合标准,都可能导致整个晶圆被废弃,这直接反映了晶圆厂制造工艺的稳定性。而在CP测试中,探针台配合ATE设备,对芯片的功能和电参数性能进行细致检查,通过精确的探针定位,确保信号传输的稳定,从而发现并剔除封装前的不良品,降低后续成本,提高良品率。
在半导体行业的快速迭代中,测试时间的宝贵性愈发凸显。SEMISHARE,作为探针台行业的领军者,凭借十余年的技术积累,自主研发了全自动晶圆探针台A12。这款12寸兼容8寸的设备,能与各类测试机无缝对接,通过精准的探针卡与晶圆Pad点接触,为晶圆厂、封测厂和测试厂提供高效、低成本的解决方案。其自主研发的软件系统,操作简便,能实现7x24小时无人值守,具有强大的温度控制和自动校准功能,确保在各种环境下都能保证测试的精确性。
视觉自动精确校准是提升测试速度的关键。采用上下显微镜系统和高分辨率相机,确保每个探针的精确对准,无论在高精度对位还是针尖识别上,都展现卓越性能。此外,A12的高强度低重心设计,结合环境监测补偿功能,有效抵消温度和湿度变化对位置精度的影响。四维平台的高精度XYZR运动控制,配合0.1μm分辨率的光栅尺,保证了测试过程中极高的运动精度,XY轴高达200mm/s的运动速度,显著提升了测试效率。
综上所述,SEMISHARE通过创新的软硬件技术,致力于提供精准、快速和自动化的晶圆测试解决方案。无论是WAT的严格电性验证,还是CP的精细功能测试,我们的设备都能满足客户对高效测试的需求,助力他们在竞争激烈的市场中保持领先。
如何实现精准、快速、自动化晶圆测试
视觉自动精确校准是提升测试速度的关键。采用上下显微镜系统和高分辨率相机,确保每个探针的精确对准,无论在高精度对位还是针尖识别上,都展现卓越性能。此外,A12的高强度低重心设计,结合环境监测补偿功能,有效抵消温度和湿度变化对位置精度的影响。四维平台的高精度XYZR运动控制,配合0.1μm分辨率的光栅尺...
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