(2013?浙江)在半导体离子注入工艺中,初速度可忽略的离子P+和P3+,经...
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发布时间:2024-05-28 23:57
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时间:2024-06-12 21:46
A:两个离子的质量相同,其带电量是1:3的关系,所以由a=qUmd可知其在电场中的加速度是1:3,故A错.
B:要想知道半径必须先知道进入磁场的速度,而速度的决定因素是加速电场,所以在离开电场时其速度表达式为:v=2qUm,可知其速度之比为:1:3.又由qvB=mv2r知r=mvqB,所以其半径之比为3:1,故B正确.
C:由B的分析知道,离子在磁场中运动的半径之比为:3:1,设磁场宽度为L,离子通过磁场转过的角度等于其圆心角,所以有sinθ=LR,则可知角度的正弦值之比为1:3,又P+的角度为30°,可知P+3角度为60°,故C正确.
D:由电场加速后:qU=12mv2可知,两离子离开电场的动能之比为1:3,故D正确.
故选:BCD.
(2013?浙江)在半导体离子注入工艺中,初速度可忽略的离子P+和P3+...
离子通过磁场转过的角度等于其圆心角,所以有sinθ=LR,则可知角度的正弦值之比为1:3,又P+的角度为30°,可知P+3角度为60°,故C正确.D:由电场加速后:qU=12mv2可知,两离子离开电场的动能之比为1:3,故D正确.故选:BCD.
电感耦合等离子体质谱法检测汞离子英文文献
在电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)应用于汞离子检测领域,已有诸多研究发表。其中,ICP-MS因其高灵敏度、宽线性范围及多元素同时检测能力,成为环境及生物医学中汞离子分析的重要手段。研究表明,通过优化样品前处理及ICP-MS工作参数,可显著提升汞离子的检测精度与稳定性,有效避免记忆效应与基质干扰。例如,采用含HNO3、HCl及硫脲的溶液稳定样品,结合内标法补偿基质效应,显著提高了尿液中汞离子的定量准确性。此类研究为ICP-MS在汞离子检测中的广泛应用提供了坚实基础,推动了环境监测与健康评估领域的发展。衡昇质谱13811020862的核心产品iQuad 2300系列ICP MS,稳健性能、高分析通量、准确分析、智能软件。经过前后两代产品的研发和迭代,实现了真正意义上的国产化设计、生产和全系统集成,拥有多项国家技术专利。并且,在分析稳定性、灵敏度、抗干扰...
半导体掺杂工艺中“离子注入”和“扩散”的详解;
扩散,像是慢慢渗入,是通过高温环境让杂质原子自然扩散至半导体中,适用于形成深结。例如,硅片会在特定温度下与磷或砷等元素反应,形成p型或n型半导体。扩散工艺有恒定源和有限源扩散,后者能精确控制掺杂深度和浓度。离子注入则显得更为直接,通过高压加速带电离子打入半导体,形成浅结或特定深度的掺杂层...
半导体碳化硅(SiC)离子注入和退火工艺的详解;
在半导体碳化硅(SiC)器件的制造中,离子注入和退火工艺扮演着至关重要的角色。相较于传统的硅基器件,它们的掺杂方法有所不同。高温扩散虽然在硅器件中常见,但其在碳化硅中受限于杂质扩散系数极低,需要极高的温度,可能导致晶格损伤和扩散缺陷,因此,离子注入成为更好的选择。离子注入工艺复杂,但能精...
p-podyimp是什么意思在半导体中
p-podyimp是什么意思在半导体中:imp是半导体工艺,imp全写是P-ESDIMP。P-ESDIMP工艺流程是在有源区重掺杂之后增加一道P-ESDIMP,P-ESDIMP的目的是把中等浓度的硼(P型)通过离子注入的方式掺杂到NMOS漏端N+扩散区正下方与PW交界面,从而降低NMOS漏端与PW的击穿电压。例如在一0.18μm的工艺中,可...
离子注入的PN结和外延的PN结哪个稳定
制造PN结的方法有合金法、扩散法、离子注入法和外延生长法等。制造异质结通常采用外延生长法。 P型半导体(P指positive,带正电的):由单晶硅通过特殊工艺掺入少量的三价元素组成,会在半导体内部形成带正电的空穴; N型半导体(N指negative,带负电的):由单晶硅通过特殊工艺掺入少量的五价元素组成,...
硅衬底里注入磷离子为什么还能是N型半导体,应该注入原子才对?
在半导体工艺中,通常采用的是离子注入技术,其中磷原子被加速器加速到高速后撞击到硅衬底表面,形成浅层杂质,从而掺杂硅衬底,使其成为n型半导体。虽然在实际过程中磷原子被注入硅衬底,但由于注入的磷原子与硅原子具有相同的化学性质和电子结构,因此磷原子可以在硅晶体中占据硅原子的位置,并成为硅晶体...
离子注入技术的基本信息
低温掺杂、精确的剂量控制、掩蔽容易、均匀性好这些优点,使得经离子注入掺杂所制成的几十种半导体器件和集成电路具有速度快、功耗低、稳定性好、成品率高等特点。对于大规模、超大规模集成电路来说,离子注入更是一种理想的掺杂工艺。如前所述,离子注入层是极薄的,同时,离子束的直进性保证注入的离子...
半导体材料中,离子注入与离子掺杂有什么区别?
离子注入是离子参杂的一种。随着VLSI器件的发展,到了70年代,器件尺寸不断减小,结深降到1um以下,扩散技术有些力不从心。在这种情况下,离子注入技术比较好的发挥其优势。目前,结深小于1um的平面工艺,基本都采用离子注入技术完成掺杂。离子注入技术已经成为VLSI生产中不可缺少的掺杂工艺。离子注入具有...
晶圆简介及详细资料
离子注入法通常是将欲掺入半导体中的杂质在离子源中离子化, 然后将通过质量分析磁极后选定了离子进行加速,注入基片中。 退火处理 去除光刻胶放高温炉中进行退火处理 以消除晶圆中晶格缺陷和内应力,以恢复晶格的完整性。使植入的掺杂原子扩散到替代位置,产生电特性。 去除氮化矽层 用热磷酸去除氮化矽层,掺杂磷 ...
半导体硅片是什么意思啊?
"半导体硅片"是指用于制造集成电路的半导体材料硅的薄片。在半导体工业中,硅是最常用的材料之一,因为它在常温下具有较高的半导体特性,并且相对容易加工和控制。半导体硅片(晶圆)的制造过程涉及到将硅材料通过化学气相沉积(CVD)或单晶生长方法生长成为大型圆盘状的晶圆。然后,晶圆上进行多个步骤的加工和...