砷化镓的安全性
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发布时间：2022-05-06 09:39
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热心网友
时间：2022-06-29 07:00
GaAs的毒性至今仍没有被很完整的研究。因为它含有As，经研究指出，As是剧毒的。但是，因为GaAs的晶体很稳定，所以如果身体吸收了少量的GaAs，其实是可以忽略的。当要做晶圆抛光制程（磨GaAs晶圆使表面微粒变小）时，表面的区域会和水起反应，释放或分解出少许的As。就环境、健康和安全等方面来看GaAs时，及金属有机化合物前驱物的工业卫生监控研究，都最近指出以上的观点。
