发布网友 发布时间:2024-04-02 03:16
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热心网友 时间:2024-07-22 18:06
现在市场上的白光干涉仪基本上都可以达到这个精度,我们买了一台深圳产的白光干涉仪,好像叫啥中图仪器的,用来测量硅片表面粗糙度,还挺不错的,服务挺及时,性能稳定,价格也不高,你可以去咨询一下。
热心网友 时间:2024-07-22 18:05
分辨率貌似很高,个人建议如果用不到这么高精度的话就适当降低点指标,会省不少钱。热心网友 时间:2024-07-22 18:05
http://www.baidu.com/s?cl=3&wd=%B0%D7%B9%E2%B8%C9%C9%E6%D2%C7热心网友 时间:2024-07-22 18:07
白光干涉3D形貌测量仪,基于干涉式表面形貌测量原理,具有测量精度极高、可测材料种类 多、可测复杂面型以及可实现大面积测量等优点。其表面高度测量精度可达到纳米量级,在半导体 工艺与器件、生物医药、材料检测、光伏产业、电子行业、表面贴装、微纳光电系统、精密机械等 领域得到广泛应用,是上述行业中必备的高精度"机器眼"。