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磁控溅射中磁场弱了会有什么后果 那这具体表会导致什么?体现在哪?
发布网友
发布时间:2023-06-19 01:50
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热心网友
时间:2024-11-01 20:58
磁场减弱后,最明显的是气体离化率降低,导致二次电子减少,电压明显升高,溅射产额降低,从而降低沉积速率.表面现象就是电压升高.
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