IC工艺 CMOS工艺 MEMS工艺有什么关系和区别?

发布网友发布时间：2022-12-17 00:57

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热心网友时间：2023-09-12 14:45

ic即intergarted circuit，集成电路，统称。所以ic工艺即是制造集成电路的工艺，有很多种，比如最早的bipolar工艺、后来的nmos工艺、pmos工艺以及现阶段被广泛使用的cmos工艺（cmos工艺就是在一套制程种能同时生产两种mos，nmos和pmos），另外还有集成了cmos和bipolar的bi－cmos工艺等等。
而mems即微机电系统，是一门新兴学科和领域，跟ic有很大的关联，当然mems工艺也和cmos工艺会有很大的相似之处，现在的发展方向应该是把二者集成到一套的工艺上来。
对mems不是特别的了解：）

for mems details: http://zhidao.baidu.com/question/37641032.html?fr=qrl3

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